Die Miniaturinterferometer mit Tripelreflektor der
Serie MI sind Einbaumessgeräte und dienen der
Präzisionslängenmessung.
Sie sind geometrisch und funktionell aufgabenspezifisch anpassbar.Die Miniaturisierung des Sensorkopfes und des Tripelreflektors
erlaubt die Anwendung als fest installiertes Messsystem. Die LWL-Kopplung
des Sensorkopfes erhöht neben den Anwendungsvorteilen die Flexibilität
des Gesamtsystems. Das Miniaturinterferometer wandelt die Messbewegung
des Tripelreflektors in ein Interferenzsignal um.
Das optische Signal wird
zur optoelektronischen Auswerte- und Versorgungseinheit übertragen
und als Messergebnis zur Verfügung gestellt.
Der He-Ne-Laser,
der bei größeren Messlängen stabilisiert wird, sowie
die Korrektur der Umwelteinflüsse auf die Laserwellenlänge sind
die Grundlagen hoher Messgenauigkeit. Das Messsystem selbst arbeitet
linear.
Die Bedienung und Anzeige erfolgt wahlweise über
ein separates Display oder einen PC mit optionaler Software.