Der Nano Vibration Analyzer ist ein fasergekoppeltes laser-interferometrisches Vibrometer, integriert in ein technisches Mikroskop. Er eignet sich hervorragend zur Messung des dynamischen Verhaltens und der statischen Auslenkung von Mikrostrukturen, MEMS und Cantilevern.
 

Das Messobjekt  ist in einem großen Bereich mit Hilfe eines X-Y-Tisches positionier- und scanbar und kann durch eine USB-Kamera beobachtet werden. Das Mikroskop-Objektiv ist auswechselbar. Die erreichbare Auflösung des laser-interferometrischen Vibrometers liegt mit 0,1 nm im Sub-Nano-meterbereich, wobei Schwingungsfrequenzen bis 2 MHz analysiert werden können.
 

Zur Erfassung und Darstellung der Messdaten wird eine spezielle Software verwendet. Diese ermöglicht neben der Frequenzanalyse der Schwingung und der getriggerten Messwertaufnahme eine scriptgesteuerte Abtastung von Oberflächenstrukturen.