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NANOPOSITIONIER- UND NANOMESSMASCHINE, NMM-1
Aufbau und Funktionsweise

Besondere Merkmale und Vorteile

Anwendungen

Datenblatt



BESONDERE MERKMALE

  • Dreidimensionales Koordinaten-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit
  • Abbe'sches Komparatorprinzip in allen 3 Messachsen verwirklicht
  • Betriebsarten:
    1. dynamisches Positioniersystem
    2. messendes System mit kontinuierlichem Scanmodus oder Schrittmodus
  • Die Steuerung der NMM-1 erfolgt über eine komfortable Script-Sprache auf dem Host-PC
    (USB-Schnittstelle)
  • Optionales Antastsystem dient als Nullindikator und ist austauschbar
  • Anwendung als Antastsysteme finden z.B. Rastersonden- und Rasterkraftmikroskope, Autofokussensoren, kapazitive und induktive Tastsysteme.

 

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