Die Dreistrahl-Interferometer sind Einbaumessgeräte, die in einem Gerät drei Interferometer vereinen. Damit können simultan drei Längenwerte mit Nanometergenauigkeit erfasst werden. Aus der Differenz jeweils zweier Längenwerte und dem Strahlabstand lässt sich der entsprechende Winkel hochgenau bestimmen. Die Winkelmessbereiche für den Nick- und den Gierwinkel betragen etwa zwei Minuten. Ein He-Ne-Laser mit hoher Frequenzstabilität versorgt alle drei Interferometer. Damit besitzen die drei Messsysteme dasselbe Wellenlängennormal. Die Laserstrahlung wird mit nur einem Lichtwellenleiter in den Sensorkopf eingekoppelt.

Die Messbewegungen werden in Interferenzsignale umgewandelt die zur Versorgungs- und Auswerteeinheit übertragen werden. Der He-Ne-Laser, der bei größeren Messlängen frequenzstabilisiert wird, sowie die Korrektur der Umwelteinflüsse auf die Laserwellenlänge sind die Grundlage hoher Messgenauigkeit. Die Bedienung der Elektronikeinheit und die Anzeige der Messergebnisse erfolgen über einen PC mit entsprechender Software.