Die Miniaturinterferometer mit Planspiegelreflektor der Serie SP sind Einbaumessgeräte und dienen der Präzisionslängenmessung. Sie sind geometrisch und funktionell aufgabenspezifisch anpassbar. Die Miniaturisierung des Sensorkopfes erlaubt die Anwendung als fest installiertes Messsystem. Als Messreflektor können Planspiegel oder reflektierende Oberflächen optischer Qualität verwendet werden. Der Messreflektor kann im Bereich von Winkelminuten zur optischen Achse des Messstrahles verkippt werden, ohne dass die Funktion beeinträchtigt wird. Die Zuführung des Laserlichtes zum Sensorkopf erfolgt über Lichtwellenleiter (LWL).
 

Das Miniaturinterferometer wandelt die Messbewegung des Planspiegels in Richtung der optischen Achse des Messstrahles in ein Interferenzsignal. Das interferenzoptische Signal wird zur optoelektronischen Auswerte- und Versorgungseinheit übertragen und als Messergebnis zur Verfügung gestellt. Die Bedienung und Anzeige erfolgt wahlweise über ein separates Display oder einen PC mit optionaler Software.