Die Doppel-Planspiegelinterferometer der Serie SP-D sind Einbaumessgeräte. Durch zwei parallele Messstrahlen können simultan zwei Längenwerte mit Nanometergenauigkeit erfasst werden. Aus der Differenz dieser beiden Längenwerte und dem Strahlabstand lässt sich der entsprechende Winkel hochgenau bestimmen. Der zulässige Winkelbereich beträgt dabei etwa zwei Minuten und ist vom Abstand der Strahlen unabhängig.Bei kleinen Längenänderungen erhöht eine Fokussierung der Messstrahlen auf das Messobjekt den Winkelbereich bis auf ± 30 Minuten.

Die Zuführung des Laserlichtes zum Sensorkopf erfolgt über einen Lichtwellenleiter. Das Miniaturinterferometer wandelt die Messbewegungen in je zwei Interferenzsignale um, die zur Versorgungs- und Auswerteeinheit übertragen werden. Der He-Ne-Laser, der bei größeren Messlängen frequenzstabilisiert wird, sowie die Korrektur der Umwelteinflüsse auf die Laserwellenlänge sind die Grundlage hoher Messgenauigkeit. Die Bedienung der Elektronikeinheit und die Anzeige der Messergebnisse erfolgen über einen PC mit entsprechender Software.