Mehrachsige Systeme

Es können mehrere gleiche oder verschiedene Sensorköpfe mit einer Versorgungs- und Auswerteeinheit (soweit die Steckplätze ausreichen) betrieben werden. Dabei stehen verschiedene Triggermöglichkeiten zur Verfügung, um eine synchrone Datenübernahme zu gewährleisten.


Vermessen von Positioniertischen:

Das Beispiel zeigt die hochgenaue Charakterisierung eines X/Y-Tisches mittels Interferometern.

Mit der im Bild dargestellten Anordnung werden die Positionen in X- und Y-Richtung sowie die Rotationen um die X- und Z-Achse gemessen. Durch eine Kombination von einem Zweistrahl- und Dreistrahlinterferometer können alle rotatorische Komponenten der Bewegungen erfasst werden.

Ein-, Zwei- oder Dreistrahl-Interferometer sind je nach Messanforderung beliebig kombinierbar. Die gemessenen Werte können auch als hochgenaue Encoder zur Antriebsregelung im Closed Loop-Betrieb weitergegeben werden.

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