Simultane Weg-Winkelmessung

Mit mehrstrahligen Interferometern ist es möglich, simultan mehrere Längen und Winkel hochgenau zu bestimmen. Der Winkel ergibt sich aus der Längendifferenz und dem Strahlabstand.

Es wird ein gemeinsamer He-Ne-Laser als Lichtquelle verwendet, so dass die Messungen auf die selbe Laserwellenlänge zurückgeführt sind. Die Einkopplung des Laserlichts in den Sensorkopf erfolgt über Lichtwellenleiter.


SP-TR_Skizze_2014Die schematische Darstellung zeigt die Messung mit einem Dreistrahlinterferometer. Es werden simultan drei Längen, der Nick- und der Gierwinkel gemessen. Einsatzgebiete sind beispielsweise die Charakterisierung von Führungen, die Kalibrierung von Messmaschinen, die Winkelkorrektur bei hochpräzisen Zwei- oder Mehrkoordinatenmessungen, aber auch Unterschiedsmessungen.

Mehr Infos zu Zweistrahl-Interferometern und  Dreistrahl-Interferometern


Dreistrahl-Interferometer messen im Elektronenspeicherring

Die Interferometer mit Planspiegelreflektor der SIOS Meßtechnik GmbH zeichnen sich durch eine hohe Genauigkeit, großen Dynamikbereich und eine einfache Handhabung aus. Die Messungen mit diesen Systemen sind rückführbar und mit einer Linearität unter ±1,5 nm streng linear. Diese Interferometer kommen mit einem einzigen Messstrahl pro Messachse aus, der von einer reflektierenden Oberfläche in sich zurückreflektiert wird. weiterlesen

 

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