Taktile Längenmessung

Mit Hilfe der laserinterferometrischen Messtaster sind taktile Längenmessungen höchster Präzision möglich. Das wird erreicht durch:

  • Abbefehlerfreie Messanordnungen,
  • konstante Messkraft im gesamten Messbereich,
  • hohe Linearität im gesamten Messbereich.

 

Ein Haupteinsatzgebiet des laserinterferometrischen Tasters ist die Kalibrierung von Endmaßen, da sehr genaue Vergleichsmessungen zwischen Normal und Prüfling möglich sind. SIOS bietet hierfür einen kompletten Endmaßprüfplatz inklusive Taster, Portal und entsprechender Software an.


??????????????????????????????? Es wurden Messplätze zur Charakterisierung von Linsen und Wafern entwickelt, die zwei synchron arbeitende Messtaster (siehe Abbildungen) verwenden. Mit diesen können Dicken, Konturen und Ebenheiten hochgenau gemessen werden.

Eine weitere Anwendung des Messtasters zeigt sich in der Herstellung von dünnen Trägermaterialien wie Folien.
Im Qualitätsbereich können diese Produkte mit einer Dicke von nur einigen µm vermessen werden. Selbst in der Charakterisierung der Viskosität von Klebeschichten findet der laserinterferometrischer Messtaster durch spezielle Antastpinolen seinen Einsatz.

Mehr Infos zu Laserinterferometrischen Messtastern und zum Endmaßprüfplatz

 

 

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