Dreistrahlinterferometer


Datenblatt 44x44Publikation 44x44

Serie SP-TR

  • Ausführung des Sensorkopfes wahlweise in Aluminium, Edelstahl oder Invar
  • Offene Schnittstellen für OEM-Software unter Windows und Linux
Technische Daten:

  • Messbereich: bis 2 m mit Planspiegel
  • Strahlabstand: 12 mm
  • Winkelauflösung: 0,002 arcsec
  • Winkelmessung mit Kugelreflektor: bis ± 12,5°
Anwendungen:

  • Laserinterferometrische Messungen an Führungen, Mess-, Mikroskop- und Positioniertischen
  • Hochpräzise Nick- und Gierwinkelkorrektur bei Zwei- oder Mehrkoordinatenmessungen
  • Kalibrierung von Messmaschinen und Werkzeugmaschinen
  • Unterschiedsmessungen (Dilatometrie, Werkstoffprüfung)
  • Erweiterung des Messbereiches für die Winkelmessung auf Anfragezurück

Dreistrahl-Interferometer messen im Elektronenspeicherring

Die Interferometer mit Planspiegelreflektor der SIOS Meßtechnik GmbH zeichnen sich durch eine hohe Genauigkeit, großen Dynamikbereich und eine einfache Handhabung aus. Die Messungen mit diesen Systemen sind rückführbar und mit einer Linearität unter ±1,5 nm streng linear. Diese Interferometer kommen mit einem einzigen Messstrahl pro Messachse aus, der von einer reflektierenden Oberfläche in sich zurückreflektiert wird. weiterlesen

 

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