Nanopositionier- und Nanomessmaschine


Datenblatt 44x44Publikation 44x44

NMM-1

  • 3D-Multisensor-Positionier- und Messsystem höchster Genauigkeit
  • Kundenspezifische Antastsysteme, z.B. Laserfokussensoren, Rasterkraftmikroskope, Weißlichtsensoren, 3D-Mikrotaster
  • Betriebsarten:

1. dynamisches Positioniersystem

2. messendes System mit kontinuierlichem Scanmodus oder Schrittmodus

  • Steuerung der NMM-1 erfolgt über eine komfortable Script-Sprache auf dem Host-PC
Technische Daten:

  • Mess- und Positionierbereich:  25 mm x 25 mm x 5 mm
  • Auflösung 0,1 nm
Anwendungen:

  • Positionierung, Manipulation, Bearbeitung und Messung von Objekten der Mikroelektronik, Mikromechanik, Optik, Molekularbiologie und Mikrosystemtechnik mit Nanometergenauigkeit in großen Raumbereichen
  • Messung von Präzisionsteilen, z.B. Härteeindringkörper, Membranen und Mikrolinsen
  • Kalibrierung von Stufenhöhennormalen und Pitch-Standardszurück

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