Nano Vibration Analyzer


Datenblatt 44x44Publikation 44x44

Serie NA

  • Hochpräzise, berührungslose Schwingungsmessung an Mikroobjekten
  • Anwendungsspezifische Konfiguration
  • FFT-Software zur Spektralanalyse
Technische Daten:

  • Messbarer Frequenzbereich:
    0…5 MHz
  • Amplitudenauflösung: 5 pm
  • Scanfeldgröße: 50 mm x 50 mm
  • Mikroskopvergrößerung: 10x / 50x
Anwendungen:

  • Berührungslose Schwingungsmessung an Mikroobjekten, MEMS und Cantilevern
  • Ermittlung des Schwingungsspektrums
  • Bestimmung von Schwingungsformen  (Flächenschwingungen)
  • Bestimmung von Eigenfrequenzen
  • Messung der statischen Durchbiegung von Membranen und anderen Mikrostrukturen

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